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Gas-Flow-Sensoren

FS4300

Spezifikation

Kategorie: Gas-Massendurchfluss-Sensor
Hersteller: Siargo
Messbereich: 0.002 ~ 10 Sl/min
Temp.-Bereich: -10~55 C°
Druck-Bereich: 0~6 bar
Druck-Verlust: -
Spannungsversorgung: 8 ~ 24 VDC
Eingangssignal: -
Ausgangssignal: 0,5 - 4,5 VDC (linear), Durchfussschalter: 0/5 VDC
Prozessanschluss: 1/8 NPT (female): FS4301, FS4303 1/4 NPT (female): FS4308
Besonderheiten:
  • Verschiedene Baugrößen - weiter Messbereich: 0.002 bis 10 Sl/min
  • Einsatz für Gase mit hoher relativer Feuchte bzw. Dampf dank speziellem Sensor-Chip (Patent)
  • Reinraumtaugliches Packaging für Halbleiterfertigungsprozesse
    Medien: Gase: Luft, N2O, CO2, N2, O2, Ar
    Genauigkeit: ±(2.0 oR+0.5 FS) %
    Wiederholgenauigkeit: 0,5 % oR
    Reaktionszeit: -
    Turn-Down-Ratio: 100:1
    Display: 0

    Beschreibung

    Die FS4300 Serie wurde mit ihrem patentierten Sensorchip speziell für die Durchflussmessung sehr feuchter Gase (RH 100%) bzw. auch für Gase mit Dampfphase entwickelt. Die schnellen siliziumbasierten Sensoren sind damit nun auch für Anwendungen in der Medizintechnik (Beatmungsgeräte), der Nahrungsmittelherstellung (z.B. Fermentations- und Gärprozesse) und in Halbleiterfertigungsprozessen (z.B. Coating) geeignet. Die thermischen Gas Massen Durchflussmesser der FS4300-Serie sind derzeit in in 3 Standard-Baugrößen verfügbar:
    • FS4301: DN1, 0 -200 sccm/min (sccm: 1013,25 mbar, 20°C)
    • FS4303: DN3, 0-2 Sl/min (Sl/min: 1013,25 mbar, 20°C)
    • FS4308, DN8, 0-10 Sl/min (Sl/min: 1013,25 mbar, 20°C)
    Optional kann der Sensor mit einer digitalen Schnittstelle realisiert werden. Für OEM-Anwendungen sind kundenspezifische Gehäuse realisierbar.

    CAD-Daten

    Bilder